Можливі причини апельсинової кірки від мішеней для розпилення полісиліконових трубок

0200-09315 HCchuck, ESC Cover Ring, кераміка

0200-00234 ІЗОЛЯТОР BKM1 ENHANCED TXZ 200MM

Проблеми з параметрами процесу

1. Надмірна потужність розпилення:

- Надмірна потужність розпилення може призвести до високих локальних температур на поверхні мішені, спричиняючи нерівномірне випаровування та осадження матеріалу, що призводить до утворення поверхні апельсинової кірки.

- Ви можете перевірити налаштування потужності пристрою для розпилення, щоб побачити, чи не виходить він за цільовий діапазон.

2. Тиск повітря для розпилення не підходить

- Якщо тиск повітря для розпилення занадто низький, середня довжина вільного пробігу частинок може бути занадто довгою, енергія частинок буде занадто високою, і велика сила удару буде створена, коли вони вдаряться об поверхню мішені, так що морфологія поверхні мішені зміниться.

- Якщо тиск повітря занадто високий, розпорошені частинки можуть занадто сильно стикатися, перш ніж досягти підкладки, зменшуючи енергію та спрямованість частинок, а також можуть призвести до нерівномірного осадження на поверхні мішені.

- Вам потрібно налаштувати відповідний тиск розпилення відповідно до характеристик мішені та вимог процесу.

 

Цільові проблеми якості

1. Чистота мішені недостатня:

- Наявність домішок може вплинути на продуктивність розпилення та якість поверхні мішені. Під час розпилення домішки можуть переважно розпорошуватися або реагувати з мішенню, що призводить до нерівномірної поверхні мішені.

- Ви можете перевірити сертифікат чистоти мішені або виконати аналіз складу мішені, щоб визначити наявність домішок.

2. Внутрішня будова мішені нерівномірна:

- Під час виготовлення мішені, якщо всередині є пористість, тріщини або інші дефекти, вони можуть поступово оголитися під час процесу напилення, що вплине на якість поверхні.

- Ви можете виконати металографічний аналіз або інші методи перевірки мішені, щоб переконатися, що її внутрішня структура однорідна.

Проблеми з обладнанням

Магнітне поле неоднорідне

- Магнітне поле в обладнанні для розпилення відіграє важливу роль у процесі розпилення. Якщо магнітне поле неоднорідне, розпорошені частинки будуть розподілені нерівномірно, що призведе до утворення апельсинової кірки на поверхні мішені.

- Ви можете перевірити положення котушки магнітного поля та силу струму, щоб переконатися, що магнітне поле розподілене рівномірно.

2. Температура основи занадто висока:

- Надто високі температури підкладки можуть призвести до зниження якості шару плівки, нанесеного на підкладку, а також можуть вплинути на процес розпилення на поверхні мішені. Якщо температура підкладки занадто висока, швидкість дифузії розпилених частинок на підкладці буде прискорена, що може призвести до нерівномірного осадження на поверхні мішені.