Радіочастотна система обладнання для травлення

Радіочастотна система зазвичай складається з радіочастотного генератора та радіочастотного узгодження, є однією з основних систем обладнання для травлення, поточний ринок у цій галузі в основному займають United States Youyi Semiconductor (AE), Wanji Instrument (MKS) і Comed Ed. Радіочастотне джерело живлення - це джерело живлення, яке може генерувати фіксовану частоту синусоїдальної напруги та має високу потужність. Після того, як травильний газ (переважно CF4) пропускається в реакційну камеру через газову систему, він іонізується високочастотним електричним полем (зазвичай 13,56 МГц), створюваним радіочастотним джерелом живлення, що призводить до тліючого розряду, який завершує перехід від молекул газу до іонів, утворює плазму та покращує реакційну здатність газу. Джерело радіочастотного живлення безпосередньо пов’язане з концентрацією плазми, однорідністю та стабільністю в реакційній камері. У більшості пристроїв для травлення радіочастотне джерело живлення використовується в поєднанні з джерелом постійного струму для контролю щільності та енергії іонів відповідно. Завдяки прискорювальному ефекту електричного поля іони зазвичай травлять пластини як у фізичній, так і в хімічній формах. Крім того, радіочастотні системи є важливою частиною обладнання для осадження тонких плівок, машин для дегумування, іонних імпланторів та обладнання для очищення.

Загальною комбінацією конфігурацій радіочастотної системи для обладнання для травлення є радіочастотне джерело живлення з фіксованою частотою та регульований відповідник. Під час процесу травлення відповідник буде автономно регулювати внутрішній регульований конденсатор відповідно до вихідного опору самого джерела живлення та опору реактивного навантаження для досягнення повної вихідної потужності РЧ-джерела живлення. В ідеальному стані узгодження всі радіочастотні сигнали можуть бути передані в положення навантаження, а відбита потужність їхньої енергії зменшується. Коли опір навантаження та вихідний опір джерела живлення радіостанції не узгоджуються, невелика частина вхідного сигналу буде відображена назад до РЧ-джерела на кінці навантаження, а вихідна потужність РЧ-потужності запас використовується не повністю, що знижує ефективність реакції травлення.