Що робить душова лійка PECVD?
Nov 05, 2024
Залишити повідомлення
0020-30797 Душова лійка з перфорованою пластиною
0021-35869 ДУШОВА ЛІЙКА
Що робить душова лійка в процесі PECVD?
Як показано на малюнку вище, Showerhead, також перекладається як спринклерна головка, душова головка тощо, зазвичай щільно прилягає до верхньої частини реакційної зони та діє як впускний отвір для газу, рівномірно впорскуючи реакційний газ у камеру через маленькі отвори. на його поверхні. Звичайно, це не тільки функція розподілу газу, деякі призначені для використання як частина електрода.
Функція Лійка для душа?
Поверхня насадки для душа вкрита щільними порами, і після того, як реакційний газ надходить, він рівномірно ділиться на кілька частин і переноситься на верхню частину пластини з рівною швидкістю потоку, так що реакційний газ рівномірно покриває всю поверхню. поверхню пластини для отримання більш рівномірного покриття. Коли душова насадка є частиною електрода, РЧ-джерело живлення створює однорідне електричне поле на своїй поверхні, здатне утворювати однорідну плазму.
Який метал зазвичай використовується для виготовлення душової лійки?
Найбільш поширеним є алюміній, який має високу теплопровідність і стійкість до корозії. Також для виготовлення душової лійки можна використовувати кварц або кераміку.
Послати повідомлення