Який вплив температури поверхні пластини на сухе травлення?

Вплив температури поверхні на сухе травлення в основному включає: осадження полімеру, селективність, текучість фоторезисту, летючість продукту та швидкість травлення, морфологію поверхні, травлення, травлення

Осадження полімерів: полімери, які утворюються під час процесу, осідають на поверхні, впливаючи на швидкість травлення та селективність. Температура впливає на швидкість осадження та стабільність полімерів, при цьому високі температури розкладають або зменшують шари осадження, а низькі температури збільшують осадження полімеру.

0021-09835 R2Лайнер - це частина травлення.
Селективність: Селективність матеріалів для травлення та маскувальних матеріалів дуже чутлива до температури. Надто високі температури зменшать вибірковість травлення, оскільки прискорення швидкості травлення збігатиметься з маскою травлення. Фоторезист: коли фоторезист розтікається при високій температурі, він розм’якшується, розтікається та навіть утворюється пухирі, що призводить до спотворення топографії.
Летючість продукту та швидкість травлення: температура впливає на летючість побічних продуктів хімічних реакцій, а побічні продукти є більш леткими при високих температурах, що сприяє збільшенню швидкості травлення. З іншого боку, низькі температури призводять до утворення залишків побічних продуктів і знижують ефективність травлення.
Топографія травлення: температура травлення близька до температури склування (Tg) матеріалу, а рельєф поверхні однорідний. Температура травлення значно нижча за температуру склування, травлення поверхні нерівномірне, а шорсткість велика.