Яка попередня обробка необхідна для покриття вафель?

 

Основна мета обробки вафель

Видаліть домішки, видаліть органічну речовину, оксидний шар, залишковий клей та інше забруднення

Активує поверхню, підвищує провідність насіннєвого шару та сприяє зменшенню міді

Покращує змочуваність, запобігає повішенню повітряних бульбашок у свердловинах/поверхнях, і дозволяє заповнити рідину

0020-33806 Верхня камера dps + poly

Які методи лікування перед покриттям?

Візьмемо, наприклад, електричну мідь

Ashing, плазма ashing . Функція: Зніміть залишок PR з нижньої частини отвору для покриття, щоб уникнути "поганого контакту", а з іншого боку, модифікуйте насінний шар на поверхні пластини, щоб посилити адгезію між шаром покриття та шаром насіння

Волога очищення, в якій пластина занурюється в концентровану або розведену соляну кислоту для видалення оксидного шару міді . мідь незначно окислюється у повітрі, що збільшує адгезію покриття і уникає витоку .}}

У середовищі чистого приміщення поверхня пластини, як правило, не має плям нафти, тому легко здійснити попередню обробку плям нафти .

 

Кінець