Чому кремнієві нітридні плівки вирощуються за допомогою LPCVD Perer?

ЧомуAreSіліконNіридFILMSGДовідник LPCVDDІнсер?

0020-40946 Кільце затискача, 8 "snnf, al

Механізм росту нітриду кремнію

Рівняння для зростання LPCVD:

Рівняння зростання PECVD:

Видно, що SIH4 забезпечує джерело SI, а N2 або NH3 забезпечує джерело N. Однак, через більш високу температуру реакції LPCVD, атоми водню, як правило, видаляються з кремнієвої плівки нітриду, тому вміст водню в реагентах низький. Нітрид кремнію в основному складається з кремнію та азоту. Однак температура реакції PECVD низька, а атоми водню можуть зберігатися у плівці як побічний продукт реакції, займаючи положення атома N атома та Si, що робить вміст водню в плівці високим, що призводить до в результаті фільму не є щільним.

0020-27113 Кільце затискача 6 SMF Ti

Чому PECVD часто використовує NH3 як джерело азоту?

Молекула NH3 містить одиночні зв’язки NH, тоді як молекула N2 містить потрійні зв’язки NIN, а N≡N є більш стабільною, а енергія зв'язку вища, тобто, більш висока температура необхідна для виникнення реакції. Низький NH зв’язок NH₃ робить його кращим джерелом азоту для низькотемпературних процесів PECVD.