Чому вдосконалені процеси вафельних виробів потребують фінансів?

Finfet Technology вводить інноваційну тривимірну транзисторну структуру при виготовленні вафель, що дозволяє більш ефективно транзисторні продуктивність за допомогою покращеного контролю затвора та зменшення струму витоку. Це важливо для забезпечення менших, швидших та більш енергоефективних напівпровідникових пристроїв. Оскільки вузли напівпровідникових процесів продовжують скорочуватися, використання технології Finfet стає все більш поширеним і важливим.

Передумови: Обмеження традиційних плоских транзисторів

У звичайних планарних мосфетах, коли вузли процесів скорочуються (наприклад, з 90 нм до 65 нм і далі), ми стикаємося з наступними технічними проблемами:

Ефект короткого каналу:У міру зменшення довжини затвора транзистора здатність воріт контролювати канал зменшується, що призводить до збільшення струму витоку та зменшення швидкості перемикання.

Збільшений струм витоку:Збільшення струму витоку поза державою призводить до значного збільшення споживчого споживання спокою.

Проблема підлеглого гойдалки:Підпорогове нахил звичайних MOSFET обмежений 60 мВ\/десятиліттям, що обмежує їх ефективність комутації при низькій потужності.

Впровадження технології Finfet
FINFET (FINFET (FINFET)-це тривимірна транзисторна технологія, яка покращує продуктивність традиційних MOSFETS:

Посилена здатність до приводу струму:FINFET дозволяють отримати більш високі струми приводу через тривимірну структуру. Це пояснюється тим, що канал Finfet - це "плавник", який стоїть перпендикулярно поверхні підкладки, що дозволяє досягти більшої ефективної ширини в одному сліді.

Краще управління воротами:У Finfets ворота можуть включити канал "FIN" з трьох сторін, що значно підвищує здатність воріт контролювати електричне поле каналу, значно зменшуючи ефект короткого каналу.
Знижений струм витоку:FinfeTs здатний значно зменшити струм витоку за допомогою кращого управління воротами та коротшої ефективної довжини каналів. Це важливо для реалізації ланцюгів малої потужності.

Проблеми з виробничих процесів для Finfets
Незважаючи на очевидні технічні переваги Finfets, їх виробничі процеси також представляють нові проблеми:

Більш складні потоки процесу:Виробництво фінів вимагає більш складних кроків процесу, включаючи кілька етапів літографії та травлення, щоб утворити точні тривимірні структури.

19-00155-01_ Блок Aheater, 150 мм

Обладнання та оновлення обробки:Потрібно вдосконалене обладнання та процеси, такі як високоточна літографія (літографія EUV) та високоселективні процеси травлення.

Контроль врожаю:Складність тривимірних структур збільшує ймовірність дефектів, що вимагають більш жорстких методів контролю та огляду.

Перевірка переваг Finfetasas

Процес переходить до 10 нм та підтоків, переваги технології Finfet стають більш очевидними:

IMPREDED Продуктивність та зменшення споживання електроенергії:З кращим контролем та нижчим струмом витоку, FinFets здатні значно зменшити споживання електроенергії, зберігаючи продуктивність.

16-033932-00 6 дюймовий Weld Weld

Збільшення інтеграції:Менші розміри клітин та більш високі щільності струму дозволяють мікросхем інтегрувати більше функцій та схеми.