Переваги сухого травлення за допомогою імпульсного джерела живлення?

Які переваги імпульсного режиму над безперервним режимом живлення хвилі? Що таке імпульсні та безперервні режими живлення хвилі?

Як показано на малюнку вище, перший - CW, безперервна хвиля. Безперервна хвиля (CW) відноситься до форми хвилі, яка є постійною і постійною у часі, з постійною потужністю та інтенсивністю. Зазвичай він відображається як одночастотний сигнал з вузьким спектром і стабільним виходом. Середня потужність CW дорівнює піковій потужності, а характеристики сигналу прості та прості в контролі. Основна перевага CW - його висока стабільність, що робить його ідеальним для застосувань, де безперервність сигналу є критичною. У той же час, сигнал CW має низький рівень шуму, який полегшує точне вимірювання та аналіз. Крім того, конструкція системи CW порівняно проста, а параметри управління, такі як потужність та частота, можна легко регулювати. У режимі CW потужність - це безперервна форма хвилі без похмурих імпульсів.

0040-31980 Газова скринька EC WXZ

Другий - PW, імпульсна потужність. Імпульсна хвиля - це форма хвилі, яка переривається в часі і складається з серії сигналів з високою інтенсивністю протягом короткого періоду часу. Імпульси мають обмежену тривалість і повторюються через певний проміжок часу. Імпульсна хвиля має характеристики миттєвої пікової потужності набагато вища, ніж середня потужність, а вихідний спектр широкий і містить більше частотних компонентів. Найбільшою перевагою імпульсної хвилі є його миттєва висока пікова потужність, яка може вивільняти надзвичайно високу енергію за короткий проміжок часу. Крім того, через переривчасту вихід сигналу середня потужність імпульсної хвилі низька, що ефективно знижує тиск теплового навантаження обладнання. Як результат, він ідеально підходить для застосувань, які потребують високої тимчасової роздільної здатності або миттєвої високої потужності. У режимі PW вихідна потужність живлення вимкнена частиною часу та в частині часу.

0040-09095 Газова скринька, WCVD
Особливості імпульсних джерел живлення?
1, інтервальна робота може вчасно розсіювати тепло, щоб реагенти могли встигнути транспортувати на поверхню пластини.

2, вихідна потужність може бути збільшена в дуже великій мірі, тривалість надзвичайно коротка, а імпульсна потужність, частота, час тощо можна контролювати дуже точно.
Переваги використання імпульсного режиму?
1, усуньте ефекти MicroLoad. У структурному травленні з високими співвідношеннями сторін, таких як глибокі отвори або глибокі канавки. Дірки або прорізи меншого розміру мають меншу швидкість травлення, ніж отвори або прорізи більшого розміру. Якщо використовується режим CW, ефект мікролору можна покращити за рахунок зменшення тиску та підвищення напруги зміщення, але здатність до поліпшення обмежена, тоді як ефект мікрололоду може бути значно покращений за допомогою режиму імпульсу.

2, зменшує пошкодження поверхні вафель. Якщо імпульси використовуються на живленні зміщення, час, який потрібен для нападу на пластину, може бути скорочений, що, в свою чергу, зменшує пошкодження поверхні.