Фактори, що впливають на плівку в PECVD

Які фактори впливають на стрес фільмів PECVD? Які переваги та недоліки кожного?

Взяття sih 4+ nh3/n2 для формування тонких плівок Sinx, і sih 4+ nh 3+ NO2, щоб створити тонкі фільми sion, я узагальнив тут кілька моментів, звичайно, не обмежуючись цим Ці фактори: температура, потужність/тиск, склад газу, частота та вміст розведеного газу.

Температура (SINX плівка)

Чим більша температура, тим більше напруги на розтяг.

0010-37264 COOLDown Chamber Multi Slot Ass'y

Сила/тиск (плівка Sinx)

Як показано на малюнку вище, при нижчому тиску (400 мТорр) напруги при будь -яких умовах потужності упереджено до стиснення напруги; Зі збільшенням тиску напруга стискаюча поступово змінюється на напругу на розрив; При більш високих тисках (600-700 mtorr) напруження мають тенденцію до напруги на розрив. Позитивні та негативні тиски на діаграмі представляють відповідно напруги на розрив та розтяг. Типи та пропорції газів (фільми Sion)

Як показано на малюнку вище, у міру збільшення співвідношення N2O/NH3 плівка поступово змінюється від напруги на розрив до стресу стиснення. Модуляція з низькою частотою (Sinx Films)

0040-22451 П'єдестал 150 мм КОЛОДИ, 3 КОНТАЦІЙНИЙ КОНТАКТ

Як показано на малюнку вище, напруга плівки поступово змінюється від напруги на розтяг до стиснення напруги, оскільки частка часу, витраченого на вихід живлення на низьких частотах, збільшується. Вміст розведеного газу він

Як показано на малюнку вище, коли частка розведеного газу він поступово збільшується, напруга плівки поступово змінюється від напруги на розрив до стресу стиснення. Тому коригування плівкового процесу часто потрібно відрегулювати до оптимального значення, і будь -які параметри процесу, які є занадто великими або занадто малими, спричинить недосконалу якість плівки.

 

Кінець