Газова система травильного обладнання

Стадія травлення вимагає використання різноманітних травильних газів, які також відомі як технологічні середовища в процесі реакції. Газова система обладнання для травлення відповідає за транспортування технологічного середовища від джерела газу до внутрішньої частини реакційної камери, яка в основному складається з газової коробки (Gasbox), гомогенізаційної пластини (Gaspanel), витратоміра (МФЦ), і трубопровід.

Функція газової коробки полягає в тому, щоб регулювати тиск газоподібного технологічного середовища з джерела газу (спеціального газового циліндра або газопроводу пластинчастої фабрики) через різні регулюючі клапани, а потім вводити його в газовий трубопровід обладнання для травлення. Оскільки більшість газів, які використовуються у виробництві інтегральних схем, є небезпечними, для забезпечення безпеки корпус газової ланцюгової коробки зазвичай покривають антикорозійним покриттям і встановлюють зовнішнє оглядове вікно, а також всередині також в стані негативного тиску. Крім того, газова коробка оснащена різноманітними системами моніторингу, які негайно припиняють подачу газу та сигналізують про витік газу. Гаспанель є одним із основних компонентів газової системи, а також є напівпровідниковою металевою деталлю, яку важко обробляти. Гомогенізуючий диск зазвичай складається з чотирьох шарів металевих дисків, кожен з яких має багато маленьких отворів і складні невеликі повітряні канали. Після того, як травильний газ регулюється коробкою газового тракту, він надходить у трубопровід, а потім проходить через гомогенізаційний лоток і, нарешті, транспортується до реакційної камери зі стабільною та рівномірною швидкістю. Гомогенізуючий диск повинен мати характеристики стійкості до високих температур, низького забруднення частинками та стійкості до корозії, а для зварювання між багатошаровими металевими дисками потрібно використовувати спеціальні методи, щоб запобігти внутрішньому витоку. Оскільки гомогенізуючий диск пов’язаний із основним повітрозабірним етапом травлення, деякі компанії, що займаються виробництвом обладнання, вирішують співпрацювати з підприємствами точної обробки металу для розробки та виробництва гомогенізуючих дисків; Крім того, клапани Fujikin в Японії також є важливими виробниками однорідних дисків.

Обладнання для травлення використовує масовий витратомір (MFC) для моніторингу та контролю швидкості, з якою травильні гази надходять у реакційну камеру. Оскільки швидкість всмоктування повітря пов’язана зі стабільністю реакції травлення, обладнання для травлення має високі вимоги до діапазону потоку, точності керування та часу відгуку масового витратоміра на стабільність потоку. Витратоміри можна розділити на аналогову схему, цифрову схему та тип компенсації зміни тиску. Витратомір компенсації зміни тиску може автоматично компенсувати коливання тиску джерела газу, щоб забезпечити стабільний потік газу на виході в реакційну камеру. Основним виробником масових витратомірів є Horiba в Японії.