Попередній вакуумний конвеєр (Loadlock) і основний корпус транспортної платформи

Попередній вакуумний конвеєр - це передавальна камера для атмосфери та вакууму, яка використовується для ізоляції реакційної камери від прямого контакту із зовнішньою атмосферою, щоб забезпечити чистоту реакційної камери та зменшити ймовірність забруднення реакції. палата. Коли передньому модулю потрібно забрати та помістити пластину на конвеєр попереднього вакууму, його потрібно заповнити азотом, тиск повітря в порожнині відрегулювати до атмосферного стану, а потім передавальний клапан попереднього вакууму -вакуумний конвеєр збоку переднього модуля відкривається для підбору та розміщення пластини; Під час збирання та розміщення пластин із камери передачі (частини платформи перенесення) до корпусу попереднього вакуумного перенесення необхідно використовувати вакуумний насос для відкачування газу в корпусі попереднього вакуумного перенесення, відрегулювати вакуум стан, а потім відкрийте передавальний клапан на іншій стороні корпусу попереднього вакуумного перенесення, а потім виконайте підбір і розміщення пластин.

Конкретні кроки для пластини, яку потрібно транспортувати в системі перенесення, такі: усі дверцята закриваються→ відкривається порт завантаження пластини, відкриваються дверцята касети для пластин→ атмосферний маніпулятор захоплює пластину з вафельної коробки касети. → пластина поміщається на вирівнювач→ положення пластини калібрується→ газоподібний азот заповнюється в LoadLockA→ дверцята LoadLockA відкриваються→ атмосферний маніпулятор поміщає пластину в LoadLockA→ закриває дверцята LoadLockA→ LoadLockA вакуумує → відкриває дверцята реакційної камери → Порожній маніпулятор поміщає пластину в реакційну камеру→ відбувається реакція→ після завершення реакції реакційну камеру вакуумують→ відкривають дверцята камери передачі→ вакуумний маніпулятор переміщує пластину до камери перенесення→ закриває двері реакційної камери→ відкриває двері LoadLockB, → вакуумний маніпулятор переміщує пластину до LoadLockB→ закриває двері LoadLockB→ LoadLockB заповнюється азотом → відкриває двері LoadLockB→ атмосферний маніпулятор переміщує пластину з LoadLockB → закриває LoadLockB